Elektronmikroskop har flera delar
Elektronmikroskopet består av tre delar: linshylsa, vakuumanordning och strömförsörjningsskåp.
1. Linshylsan innehåller huvudsakligen elektronkällor, elektronlinser, provhållare, fluorescerande skärmar och detektorer. Dessa komponenter är vanligtvis sammansatta till en cylinder från topp till botten.
Elektronlinsen används för att fokusera elektroner och är den viktigaste komponenten i elektronmikroskopets cylinder. Generellt används magnetiska linser, och ibland används även elektrostatiska linser.
2. Vakuumanordningen används för att säkerställa vakuumtillståndet i mikroskopet, så att elektroner inte kommer att absorberas eller avböjas på dess väg. Den består av en mekanisk vakuumpump, en diffusionspump och en vakuumventil och är ansluten till linshylsan genom ett avgasrör.
3. Elskåpet är sammansatt av en högspänningsgenerator, en magnetiseringsströmstabilisator och olika justeringskontrollenheter.
