Hur många nanometer kan ett konfokalmikroskop se?
Målet med materialvetenskap är att studera inverkan av ett materials ytstruktur på dess ytegenskaper. Därför är det viktigt att analysera yttopografin vid hög upplösning för att bestämma parametrar relaterade till ytjämnhet, reflekterande egenskaper, tribologiska egenskaper och ytkvalitet. Konfokala tekniker kan mäta material med en mängd olika ytreflekterande egenskaper och erhålla effektiva mätdata.
Laserkonfokalmikroskopet, baserat på principen om konfokalteknologi, är ett inspektionsinstrument för mätningar i mikro- och nanoskala på ytorna av olika precisionsanordningar och material. Den höga mätupplösningen når 0.5nm.
Ansökningar
1.MEMS
Dimensionell mätning av mikron och sub-mikron komponenter, observation av ytmorfologi efter olika processer (framkallning, etsning, metallisering, CVD, PVD, CMP, etc.), defektanalys.
2. Precisionsmekaniska komponenter, elektroniska enheter
Dimensionell mätning av mikron- och submikronkomponenter, ytmorfologiobservation efter olika ytbehandlingsprocesser, lödprocesser, defektanalys, partikelanalys.
3.Halvledare/LCD
Yttopografiobservation efter olika processer (framkallning, etsning, metallisering, CVD, PVD, CMP etc.), defektanalys Mätning av beröringsfria linjebredder, stegdjup m.m.
4. Tribologi, korrosion och annan ytteknik
Volymmätning av nötningsmärken, råhetsmätning, yttopografi, korrosion och yttopografi efter submikron ytteknik.
Teknisk specifikation
Modell: VT6100
Slagområde: 100*100*100mm
Synfältsområde: 120×120 μm~1,2×1,2 mm
Repeterbarhet för höjdmätning (1σ): 12nm
Höjdmätningsnoggrannhet: ± (0.2+L/100) μm
Höjdmätningsupplösning: 0,5 nm
Repeterbarhet för breddmätning (1σ): 40nm
Breddmätnoggrannhet: ± 2 %
Breddmätningsupplösning: 1nm
