Introduktion till konfokala mikroskop
Arbetsprincipen för konfokalmikroskopi bygger på konceptet "konfokal", vilket innebär att endast punkter på objektivlinsens fokalplan kan avbildas tydligt, medan punkter utanför fokalplanet utesluts. Detta uppnås genom användning av speciella optiska system, såsom en konfokal bländare (nålhål). I konfokalmikroskopi bestrålas en ljuskälla (vanligtvis en laser) på provet, och sedan samlas ljuset som reflekteras eller emitteras från provet upp. Endast ljus från fokalplanet kan passera genom den konfokala bländaren, medan ljus från andra positioner blockeras, vilket resulterar i en mycket tydlig fokalplansbild.
Dessutom kan konfokalmikroskopi skanna provet lager för lager och samla in bilddata för varje lager, och sedan använda dessa data för att rekonstruera den tredimensionella morfologin hos provet. Denna lager för lager skanningsmetod ger högre upplösning än traditionella optiska mikroskop, särskilt i den vertikala riktningen av provet.
Den har breda tillämpningar inom olika områden som materialvetenskap och halvledarindustrin, särskilt i situationer där högupplösta och 3D-avbildningsmöjligheter krävs. Mätegenskaperna är som följer:
1. Mätning med hög precision: Konfokalmikroskopi kan ge nanometernivåupplösning, vilket gör att den kan mäta mycket små provfunktioner.
2. Tredimensionell morfologi: Genom att skanna provet på olika djupnivåer kan konfokalmikroskopi generera tre-dimensionella bilder av provet, vilket är mycket användbart för att analysera provets tre-dimensionella struktur.
3. Ytgrovhetsanalys: Konfokalmikroskopi kan noggrant mäta och analysera ytjämnheten hos prover. Den har en stark vertikal djupupplösningsförmåga, som tydligt kan visa bildmorfologidetaljerna för små objekt, visa fina detaljerade bilder och ha bättre bildeffekter för produkter med stora lutningar. Detta är mycket viktigt för materialvetenskap och ingenjörstillämpningar.
