Namn och funktion för varje del av konfokalmikroskopet
Baserat på principen om konfokalteknologi används det konfokala mikroskopet för att mäta ytan på olika precisionsenheter och material på mikro- och nanonivå, och kan direkt avbilda ytmorfologin hos materialprover, med en lateral upplösning på upp till 1 nm och en Z-axelupplösning på upp till 0,5 nm. Det kan inte bara mäta provets ytmorfologi och ge funktionen att karakterisera den mikroskopiska morfologin för profilstorleksmätningen, utan också tillhandahålla fem viktiga analytiska funktioner, såsom grovhetsanalys, geometrisk profilanalys, strukturanalys, frekvensanalys och funktionell analys. Grovhetsanalys, geometrisk profilanalys, strukturanalys, frekvensanalys och funktionsanalys tillhandahålls också.
Grovhetsanalys inkluderar fullparameteranalys enligt ISO4287 linjegrovhet, ISO25178 ytjämnhet, ISO12781 planhet, etc.; geometrisk konturanalys inkluderar steghöjd, avstånd, vinkel, krökning och andra särdragsmätningar och bedömning av rakhet, rundhet och formtolerans; strukturanalys inkluderar volymen av hålen och djupet av tråget, etc.; frekvensanalys inkluderar kornets riktning och spektrumanalysen; funktionell analys inkluderar riktnings- och frekvensspektrumanalys; frekvensanalys inkluderar riktnings- och frekvensspektrumanalys; och funktionsanalys är också tillgänglig. Frekvensanalys inkluderar texturriktning och spektrumanalys; Funktionsanalys inkluderar SK-parametrar och volymparametrar.
Konfokalmikroskopets struktur består huvudsakligen av: mikroskop, laserljuskälla, skanningsenhet, detektor, datorsystem (inklusive datainsamling, bearbetning, konvertering, applikationsprogramvara), bildutmatningsenhet, optisk enhet och konfokalsystem.
Inom keramik, metaller, halvledare, chips och andra materialvetenskaper och produktionsinspektioner har konfokalmikroskop ett brett spektrum av tillämpningar. Konfokalmikroskop baserat på principen om konfokalmikroskopi, beröringsfri skanning av enhetens yta och upprättandet av ytans 3D-bild, genom systemprogramvaran på enhetens yta 3D-bilddatabearbetning och analys, för att erhålla 2D, 3D parametrar som återspeglar kvaliteten på enhetens yta, för att uppnå enhetens ytmorfologi 3D-mätning.
Kan användas i stor utsträckning inom halvledartillverkning och inspektion av förpackningsprocesser, 3C elektronisk glasskärm och dess precisionsdelar, optisk bearbetning, tillverkning av mikronanomaterial, bildelar, MEMS-enheter och annan ultraprecisionsbearbetningsindustri och rymd, vetenskapliga forskningsinstitut och andra fält. Mät och analysera ytprofilen, ytdefekter, slitage, korrosion, planhet, grovhet, korrugering, porspel, steghöjd, böjdeformation, bearbetning och andra ytegenskaper hos olika produkter, komponenter och materialytor.
