Tillämpningen av infraröda mikroskop i mikroenheter inom elektronikindustrin
Med utvecklingen av nanoteknik tillämpas dess top-miniatyriseringsmetod alltmer inom halvledarteknik. Vi brukade kalla IC-teknik för "mikroelektronik" eftersom storleken på transistorer ligger inom mikrometerområdet (10-6 meter). Men halvledarteknologin utvecklas mycket snabbt, avancerar med en generation vartannat år, och storleken kommer att krympa till hälften av sin ursprungliga storlek, vilket är den berömda Moores lag. För ungefär 15 år sedan började halvledare komma in i submikron-eran, som är mindre än mikrometer, följt av en djupare submikron-era, mycket mindre än mikrometer. År 2001 hade transistorernas storlek till och med minskat till mindre än 0,1 mikrometer, vilket är mindre än 100 nanometer. Därför, i nanoelektronikens tidevarv, kommer de flesta framtida IC att göras med nanoteknik.
Tekniska krav:
För närvarande är den huvudsakliga formen av fel på elektronisk enhet termiskt fel. Enligt statistik orsakas 55% av fel på elektroniska enheter av att temperaturen överstiger det angivna värdet, och felfrekvensen för elektroniska enheter ökar exponentiellt med ökande temperatur. Generellt sett är driftsäkerheten för elektroniska komponenter mycket känslig för temperatur, med en 5% minskning av tillförlitligheten för varje 1 grads ökning av enhetstemperatur mellan 70-80 grader Celsius. Därför är det nödvändigt att snabbt och tillförlitligt detektera enhetens temperatur. På grund av den allt mindre storleken på halvledaranordningar har högre krav ställts på temperaturupplösning och rumslig upplösning för detektionsutrustning.
